王曦院士展示“三明治”SOI圓片（8月22日攝）。
穿上凈化服、戴上口罩、經(jīng)過強(qiáng)風(fēng)的“風(fēng)淋”后，記者走進(jìn)了上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
這里是我國最先進(jìn)的高端硅基集成電路晶圓片材料SOI研發(fā)平臺，也是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦院士為之奮斗十多年的地方。
這些看上去光潤無瑕、如同一面面灰色圓鏡的SOI材料，專業(yè)名稱叫“絕緣體上的硅”，是國際公認(rèn)的21世紀(jì)新一代硅基材料。
早在20世紀(jì)80年代初，中科院就已經(jīng)開始SOI技術(shù)研究，但僅僅停留在論文上，從沒有走出實(shí)驗(yàn)室。眼看國際上SOI產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用技術(shù)突飛猛進(jìn)，1998年，王曦放棄國外優(yōu)越生活，毅然回國挑起了中科院SOI項(xiàng)目的“大梁”。
為了盡快趕上國際先進(jìn)水平，王曦帶領(lǐng)科研團(tuán)隊(duì)通宵達(dá)旦地在實(shí)驗(yàn)室里加班加點(diǎn)，他們采用工程化管理，每個階段都設(shè)定了指標(biāo)?！半x子注入”是王曦鉆研多年的SOI材料制備中的關(guān)鍵技術(shù)。回國后，王曦成功地利用創(chuàng)新技術(shù)完成了SOI材料技術(shù)工程化研究，建立了生產(chǎn)線。經(jīng)過漫長的艱苦跋涉、晝夜奮戰(zhàn)，他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)終于生產(chǎn)出一個個光潤無瑕、晶瑩剔透的“三明治”圓片。
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